電子無塵車間標準要求

　　電子無塵車間有著對噪音的要求、車間內外壓差的要求、車間氣流滿布的要求、車間溫濕度的要求、對潔凈度的要求、冷負荷要求、對新風系統的要求、抗靜電的要求、對新鮮空氣的要求等方面的標準要求。

　　1、車間內噪音的要求

　　噪音會對作業員的工作效率和狀態產生影響，因此也是首要關鍵的一環。一般在靜止空態條件下要求車間內的噪音標準要在60db以下。

　　2、車間內外壓差的要求

　　對于無塵車間而言需要有穩定的氣體流動才能做到除塵的目的，因此一定要存在有壓差。

　　在車間室內和室外一般要求壓差不能小于10pa，在車間內部的潔凈區域和非潔凈區域的壓差則不能小于5pa。

　　3、車間氣流滿布的要求

　　對于電子無塵車間要求中氣流的滿布要求是不能忽略的重點。這代表著流動的氣體能夠覆蓋車間內部空間的比例是否足夠，是否能做到這個車間內空間的基本覆蓋率。

　　對于單向流動的滿布率要在40%以上，而垂直流動的要在60%以上。

　　4、車間溫濕度的要求

　　車間內部一定要配備有空調凈化系統來保障溫濕度，還應添加新風系統和超溫保護系統以及防低溫系統等等設施。

　　5、對潔凈度的要求

　　由于生產工藝種類繁多，對潔凈度等級要求也不同，高的很高，低的很低。

　　對粒子粒徑控制的要求也不同，范圍約為0.1~5um；對溫濕度控制的要求相對較高，如集成電路前道工序一般要求室內溫度基數為22℃（精度±0.1~±1℃）。

　　相對濕度基數為40%（精度±2~±5℃；正壓值要求的梯度級別，隨著潔凈度的變化而從高到低變化，差值5~10Pa。

　　6、冷負荷要求

　　電子行業無塵車間的冷負荷比其他行業的無塵車間大很多，單位冷負荷達400~500W/㎡很常見。由于冷負荷大，一般情況下，冬季也需要供冷，這是電子行業的特點。

　　7、對新風系統的要求

　　電子行業生產工藝過程產生的有害氣體種類繁多，且量也大，所以需要的排風量和新風量也大。新排風的節能措施也是行業特點之一，排放前要做處理，使排風負荷環保要求。

　　8、抗靜電的要求

　　電子行業生產工藝有抗靜電、抗微振的要求，并且大宗氣體和特種氣體種類多，對純度和潔凈度要求高：

　　9、對新鮮空氣的要求

　　補償室內排風量和保持室內正壓值所需的新鮮空氣量之和。保給潔凈室內每人每小時的新鮮空氣量不小于40m3。